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顛覆性的技術(shù)革新，致輕、致小，完美實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中
2.83L/min，同時(shí)測(cè)試0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色觸摸顯示屏
可使用附帶軟件在PC上顯示測(cè)試數(shù)據(jù)
設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口
| 品 名 | 塵埃粒子計(jì)數(shù)器 | |
| 型 號(hào) | 3950-00 | |
| 粒子測(cè)量 | 測(cè)試方法 | 光散射法 |
| 粒徑通道 | 2粒徑（0.1、0.3μm） | |
| 額定流量 | 0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
| 測(cè)量時(shí)間 | 6秒~99分59秒（1次測(cè)量時(shí)間） | |
| 間隔時(shí)間 | 6秒~99分59秒（測(cè)量周期） | |
| 采樣次數(shù) | 1~999次 或 連續(xù)測(cè)試 | |
| 地點(diǎn)設(shè)定 | 99個(gè)地點(diǎn) | |
| 測(cè)量方式 | 重復(fù)、單次、連續(xù)、計(jì)算 | |
| 測(cè)量數(shù)據(jù)顯示時(shí)間 | 1~10秒 | |
| 測(cè)量數(shù)據(jù)顯示 | 累計(jì)值∑ 差分值△及柱形圖 | |
| 最大可測(cè)濃度 | 10,000,000個(gè)/m3 | |
| 計(jì)數(shù)效率 | 50±20%（相對(duì)于最小可測(cè)粒徑附近的PSL粒子） 100±10%（相對(duì)于最小可測(cè)粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4） | |
| 偽 計(jì) 數(shù) | <1個(gè)/35min | |
| 粒徑分辨率 | 15%以下（相對(duì)0.3μm的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4） | |
| 氣 源 | 內(nèi)置泵 | |
| 顯示器 | 4.3英寸彩色液晶 觸摸屏 | |
| 通迅功能 | 本 體 | USB（Host用于打印機(jī)、USB存儲(chǔ)；Device用于與PC鏈接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud） |
| 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 媒 體 | 內(nèi)存 |
| 數(shù)量、格式 | 最大10,000個(gè)、CSV格式 | |
| 顯示語(yǔ)言 | 英文、日語(yǔ) | |
| 電 源 | AC100~240V | |
| 使用環(huán)境 | 本 體 | 15~35℃、0~85%RH （無(wú)結(jié)露） |
| 外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
| 重 量 | 3.4kg | |
